半導体・電子機器
半導体・電子機器向け
フッ素樹脂チューブ
半導体・電子機器の薬液およびプロセス流体ラインに使う FEP・PFA チューブを確認します。本ページが扱うのは樹脂およびフッ素樹脂チューブのみで、超高純度ステンレスガス配管は対象外です。清浄度・純度の要件は、該当モデルと関連文書に基づいて確認します。
対象範囲：本ページは樹脂およびフッ素樹脂チューブのみを扱います。超高純度ステンレス製ガス配管は対象外であり、半導体グレードであるとの主張はしていません。
クイック選択
材料検討の前に明確にする4つの情報
まず、対象となる流体、プロセス条件、および機器に必要な裏付け資料を確認します。最終的な選定は、具体的なモデルとその関連文書に基づいて確認します。材質名のみでは承認とはみなされません。
1. 流体および洗浄剤
具体的な化学物質または混合物、濃度、不純物、および洗浄剤またはすすぎ剤。
2. 温度と圧力
連続およびピーク時の温度、圧力または真空度、ならびに曝露時間（起動および洗浄サイクルを含む）。
3. 接続と寸法
機器および継手のインターフェース、外径×内径、配管長、数量。
4. 純度および関連書類
選択したモデルに関して必要な、清浄度、溶出物、またはコンプライアンスに関する情報。
材料選定の前に確認すべき3つのポイント
01
その配管にはどのような流体が流れているのですか？
まず、具体的な化学物質、濃度、不純物、および洗浄剤を確認してください。FEPおよびPFAは掲載されているフッ素樹脂シリーズであり、プロセス流体への適合性は、流体およびモデルごとに確認します。
02
プロセス条件はどのようなものですか？
連続使用時の温度とピーク温度、圧力または真空度、流量要件、および曝露時間を記載してください。これらの条件が変化する起動時、すすぎ時、洗浄サイクルの条件も含めてください。
03
どのように接続し、取り扱いますか？
機器および継手の接続部、外径×内径、配管長、数量を指定してください。同一機器上の補助用圧縮空気配管については、PU、PA6、またはPA12シリーズを使用して個別に確認することができます。
必要な証拠を明確に示す
お使いの機器について、清浄度情報、溶出物データ、材料グレードに関する文書、あるいは特定のコンプライアンス基準が必要かどうかをお知らせください。このページに掲載されているどの製品群についても、これらはいずれも前提としていません。
レポートの読み方について→選択したモデルについて確認する
半導体または電子機器の製造プロセスにおけるフッ素樹脂の適合性については、モデルごとの実証データが必要です。本ページでは、掲載されているどの製品群についても、半導体グレードまたは超高純度であることを主張していません。具体的なモデルに該当する資料をご請求ください。
半導体製造装置用チューブに関する質問
このページは、超高純度半導体用チューブに関するものですか？
いいえ。本ページでは、機器の流体ライン用の樹脂チューブおよびフッ素樹脂チューブ（FEPおよびPFA）を扱います。超高純度ステンレス製ガス用チューブは別の製品カテゴリーに属するため、本ページでは取り扱っておりません。
FEPとPFAチューブは半導体グレードですか？
掲載するどのシリーズについても、半導体グレードや超高純度との主張はしていません。清浄度、溶出物、純度の要件を確認するには、実際に供給する型式の資料が必要です。お問い合わせの際に要件を明示してください。
プロセスラインにおいて、FEPとPFAをどのように比較すればよいでしょうか？
FEPおよびPFAの具体的なモデルを、同じ流体、濃度、温度、圧力、および接続条件に照らして比較した上で、各モデル固有の裏付けデータを請求してください。
PU、PA6、PA12チューブは同じ設備で使用できますか？
PU、PA6、PA12は設備の補助圧縮空気配管用として検討できます。ただし、薬液配管用の フッ素樹脂チューブ の代替にはなりません。回路ごとに確認してください。
プロジェクトの見積依頼を準備する
移送する流体とその濃度、運転温度および洗浄温度、圧力または真空度、外径×内径、継手、数量をお知らせください。また、選択したモデルに必要な清浄度、溶出物、またはコンプライアンスに関する書類があれば、併せてご提出ください。